RMC系列匹配器

適用于光伏產(chǎn)業(yè)、平板顯示器行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、化工業(yè)、實(shí)驗(yàn)室、科研、制造業(yè)等領(lǐng)域。適用于等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD)、等離子體刻蝕、等離子體清洗、射頻離子源、等離子體擴(kuò)散、等離子體聚合濺射、反應(yīng)濺射等工藝。

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產(chǎn)品編號(hào)

產(chǎn)品系列:

RMC系列

數(shù)量

庫(kù)存:

所屬分類

射頻電源



產(chǎn)品描述

參數(shù)

型號(hào)定義

主要參數(shù)

● 全數(shù)字控制，匹配精度高，匹配時(shí)間短
● 采用真空電容，可靠性高，使用壽命長(zhǎng)
● 結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，安裝便捷
● 超寬匹配范圍，可定制適配任意負(fù)載
● 具有手動(dòng)/自動(dòng)匹配功能
● 具有保持和預(yù)置設(shè)定功能
● 具有通訊功能，可獨(dú)立連接上位機(jī)實(shí)時(shí)顯示負(fù)載狀態(tài)

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銷售熱線：0838-2900585 2900586
售后熱線：0838-2900488 0838-2900938
公司總機(jī)：0838-6930000
公司傳真：0838-2900985
電子郵箱：injet@injet.cn
公司地址：四川省德陽(yáng)市金沙江西路686號(hào)

輸入	控制電壓：AC230V±10% 或 DC24V	輸入接口：N型、HN、7/16
	頻率：13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz	傳輸功率：1.5kW～6kW
	射頻輸出電壓：4000Vpeak	射頻輸出電流：25Arms～120Arms
輸出	輸出接口：7/16、B20N、銅排, 其他規(guī)格可定制
性能指標(biāo)	匹配時(shí)間：A系：端對(duì)端＜5s ,預(yù)設(shè)點(diǎn)到匹配點(diǎn) 1s~3s C系：端對(duì)端＜3s ,預(yù)設(shè)點(diǎn)到匹配點(diǎn) 0.3s~2s	駐波：A系：＜1.2 C系：＜1.1
	阻抗實(shí)部：1Ω～200Ω	阻抗虛部：+200j～-200j
	負(fù)載類型：ICP 或 CCP	外形尺寸：根據(jù)客戶要求定制
注：產(chǎn)品不斷創(chuàng)新，性能繼續(xù)提升，本參數(shù)說(shuō)明僅供參考。