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RHH系列射頻電源

RHH系列射頻電源依靠成熟的射頻發(fā)生技術(shù)為基礎(chǔ),為客戶提供更大的功率、精度更高、響應(yīng)快速的射頻電源。具有相位可設(shè)、脈沖可控、數(shù)字調(diào)諧等功能。適用領(lǐng)域:光伏產(chǎn)業(yè)、平板顯示器行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、化工業(yè)、實驗室、科研、制造業(yè)等。
適用工藝:等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)、等離子體刻蝕、等離子體清洗、射頻離子源、等離子體擴散、等離子體聚合濺射、反應(yīng)濺射等。
零售價
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市場價
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產(chǎn)品編號
產(chǎn)品系列:
RHH系列
數(shù)量
-
+
庫存:
0
產(chǎn)品描述
參數(shù)
型號定義
主要參數(shù)

● 半磚和機架式安裝方式

● 采用全數(shù)字控制,具有便捷和豐富的操作菜單

● 頻率調(diào)諧、脈沖和脈沖同步功能

● 具備CEX相位同步功能

● 完善保護功能

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輸入

輸入電壓:AC220V±10% 3ΦAC380V±5%(特殊規(guī)格可定制)

輸入頻率:47~63Hz

輸出

輸出頻率: 13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz

調(diào)諧范圍:±5%

輸出功率:1.5~5kW

輸出功率調(diào)節(jié)范圍:1~100%

輸出阻抗:50Ω+j0

輸出接口:N型

輸出模式:連續(xù)、脈沖

脈沖頻率:100Hz~100kHz

占空比: 5~95%

性能指標

功率因數(shù):0.98

頻率穩(wěn)定精度:±0.005%

效率:75%(額定輸出時)

諧波:<-45dBc

雜散:<-50dBc

外部控制接口:模擬量、通訊、同步

通信方式:標配RS485通訊接口;可選Ether CAT、工業(yè)以太網(wǎng)等

注:產(chǎn)品不斷創(chuàng)新,性能繼續(xù)提升,本參數(shù)說明僅供參考。

四川英杰電氣股份有限公司

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